金属有机先驱物合成钛酸锶系介质薄膜

从金属有机先驱物研制出SrTiO3、BaTio3、 BaxSr1-x、TiO3溶胶与薄膜，用DTA/TG、FTIR、SEM、XRD、AFM、UPA-β背散射等手段考察sol-gel与薄膜与生长演化机制、相结构演化、形貌、界面扩散和与反应机制膜组成均匀性、用磁控RF溅射解决MIM结构的电极，研制成Au/BST/Pt/Ti/SiO2/Si(100)多层结构，其电性能为ε>400，ranδ<0.05,Il<10(-7)Acm(2),EB>0.2MV/cm,Q-33fC/um(2)实验发现：Sr、Ba在sol-gel过程的络合与缩聚反应机制差别，C-V特性电容调谐度>30%，可望用于MIC调谐器;Ba0.7-Sr0.3TiO3膜在15-150℃温区均呈铁电性，未了同现块状BST在25℃附近Fr-Pc的相变，但铁电性减弱，同时ε温谱居里峰平缓，居里温区扩大，相变高度扩散，提出“超扩散相变”，完成预期内容，薄膜质量达到预定指标，发表论文8篇，结果与国际同类作工作水平相当，得到国际认同。