铋掺杂钛酸锶薄膜的介电可调特性研究

采用溶胶凝胶工艺和射频磁控溅射方法，通过控制工艺参数，在不同基片上得到结构致密、均匀，结晶良好的铋掺杂钛酸锶薄膜。采用扫描探针（SPM）技术、场发射扫描电镜（FESEM）、X射线衍射（XRD）和光电子能谱(XPS)，以及喇曼谱等分析技术对薄膜的微观结构、相组成、表面进行研究和表征。利用阻抗分析仪测量薄膜从液氮温度到200摄氏度的介电温谱、频谱以及直流偏场作用下介电常数和介电损耗的变化规率；采用谐振腔法和微带线设计研究薄膜样品的微波介电性能。结合薄膜微结构中微畴和极性微区的变化及宏观电学特性，探索直流外场作用下薄膜微畴/极性微区和介电性能的变化规律，分析薄膜的介电可调特性。为微波可调器件的研究提供理论参考和材料基础。