p型二氧化锡薄膜的制备及其性质研究
基本信息
批准号：50672053
项目类别：面上项目
资助金额：32.00
负责人：计峰
学科分类：
依托单位：山东大学
批准年份：2006
结题年份：2009
起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：邵波,张锡健,李强,蒋志勇,常中坤,马建斌,杨光
关键词：
p型二氧化锡共掺杂LMBE
结项摘要
分别选取铝、镓、铟、氮、磷、锂等作为掺杂元素，利用激光分子束外延法（L-MBE）制备单元素掺杂的p型氧化锡薄膜。研究薄膜的透过率、光学带隙、杂质能级结构及载流子浓度、迁移率等参数与工艺条件、掺杂元素种类、掺杂浓度的变化关系，确定实现替位式掺杂及激活掺杂原子的工艺条件。研究退火等后处理工艺对薄膜结构及电学性质的影响，确定最佳的工艺条件。通过分析掺杂原子的电子结构及化学性质，确定待选的共掺杂元素。利用
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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