超精机床高速在线激光测量的交互干涉技术

通过对声光调制技术和可调大频差以频激光的研究，研制出将激光管、调制器件和棱镜集成于一体的激光头，从而突破由赛曼分裂所得频差不宜太大的极限，获得了提高测量速度的途径。以相位共轭波技术补偿由超声东击西波造成的激光波形畸变。通过研究激光干涉测量中测量光路与校准光路的交互干涉技术，新型空气折射率的测量与补偿方法，激光干涉中的非线性误差等，进一步提高了激光干涉的测量精度。从而研制出一种超精密机床高速超精密的在线测量系统。以全新思路解决测量中的问题，使其在测速、测量精度、成本等方面均有较大的突破，为超精密机床的研制奠定基础。并可用于光刻机、坐标测量机及精密机床的精密机床的精密校准和精密位移的测量。