铁电薄膜红外探测器稳定性的研究

灵敏元的稳定性已经成为制约铁电薄膜红外探测器实用化的关键问题。研究铁电薄膜探测器灵敏元在工作状态下铁电层缺陷状态的变化、金属氧化物电极层氧含量的变化、铁电薄膜/电极材料界面在温度周期调制情况下的改变。探索出灵敏元性能退化的物理机制以及决定器件性能稳定性的关键因素，进一步对材料性能和器件工艺进行改进，研制出性能稳定的铁电薄膜红外探测器。