化学转化聚硅烷制备二氧化硅膜的研究
基本信息
批准号：29771024
项目类别：面上项目
资助金额：17.00
负责人：傅鹤鉴
学科分类：
依托单位：四川大学
批准年份：1997
结题年份：2000
起止时间：1998-01-01 - 2000-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：谢茂浓,李高全,马洪,谭建,彭志坚,苏志珊
关键词：
准分子激光SiO2膜聚硅烷化学转化
结项摘要
用自创预聚法获较高分子量且可溶聚硅烷。通过改变封端剂，显著降低产品中氧含量。氧等离子体处理聚硅烷制备SiOx膜用Poly-SiOx表示。对该膜进行 了IR、XPS，折射率等测试。不同结构聚硅烷制Poly-SiO2膜条件不同。Poly-SiO2/Si结构界面固定氧化物电荷密度在10（10）～8.8×10(11)cm(-2)数量级，对N型硅衬底，其电荷极性为负。界面可动离子电荷密度在10(10)～10(11)/cm(2)数量级。其平带电压最小达-0.55～0.88V，随电子辐照能量、剂量的改变漂移小，有抗辐射特点。上述性能都比同环境热氧化制备的SiO2/Si结构好。该方法具有设备简单、操作方便、成膜温度低、易实现大面积成膜等优点，这种新型的Poly-SiO2/Si膜宜作微电子器件表面钝化层，在其器件制备工艺中得到应用。还开辟了聚硅烷制SiC膜新研究方向。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
DOI：10.7498/aps.67.20171903
发表时间：2018
2
生物炭用量对东北黑土理化性质和溶解有机质特性的影响
生物炭用量对东北黑土理化性质和溶解有机质特性的影响
DOI：10.19336/j.cnki.trtb.2020112601
发表时间：2021
3
三级硅基填料的构筑及其对牙科复合树脂性能的影响
三级硅基填料的构筑及其对牙科复合树脂性能的影响
DOI：10.11951/j.issn.1005-0299.20200093
发表时间：2020
4
山核桃赤霉素氧化酶基因CcGA3ox 的克隆和功能分析
山核桃赤霉素氧化酶基因CcGA3ox 的克隆和功能分析
DOI：10.13925/j.cnki.gsxb.20200115
发表时间：2020
5
人β防御素3体内抑制耐甲氧西林葡萄球菌 内植物生物膜感染的机制研究
人β防御素3体内抑制耐甲氧西林葡萄球菌 内植物生物膜感染的机制研究
DOI：
发表时间：2017
傅鹤鉴的其他基金
批准号：59873015
批准年份：1998
资助金额：13.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
防护性硅烷膜的电沉积制备
批准号：50871101
批准年份：2008
负责人：胡吉明
学科分类：E0103
资助金额：31.00
项目类别：面上项目
2
聚碳硅烷先驱体法制备高性能近化学计量SiC纤维的关键基础问题研究
批准号：50532010
批准年份：2005
负责人：陈立富
学科分类：E0204
资助金额：220.00
项目类别：重点项目
3
聚硅烷准分子激光化学反应研究
批准号：29273116
批准年份：1992
负责人：付鹤鉴
学科分类：B0306
资助金额：4.00
项目类别：面上项目
4
固态/液态混合聚碳硅烷制备高性能SiC纤维关键基础问题的研究
批准号：50472056
批准年份：2004
负责人：陈立富
学科分类：E0204
资助金额：25.00
项目类别：面上项目