基于机器视觉和平面正交光栅的运动测量系统研究

研究正交光栅投影图形特征的提取与矢量重构, 提出基于亮度分析和线条重心计算的正交光栅投影图形处理方法，实现基于矢量分析的多自由度位置识别；研究正交光栅的位置检测机器视觉光学系统的设计和软硬件实现方法，提出高数值孔径物镜+金相显微镜的机器视觉显微光学系统技术方案；通过构建正交光栅位置检测机器视觉系统的实验研究，实现一种结构紧凑、实时性好的超精密工作台多自由度运动测量系统。