聚酰亚胺薄膜经高能(650KeV-3MeV)离子B(+)、C(+)Si(+)、Cu(+)等注入后,测量其表面显微硬度及表面电阻的变化,发现和离子注入能使聚合物表面电阻下降相对应,离子注入能使聚酰亚胺薄膜表面硬度明显的增加。当注入剂量达到1×10(14)/cm(2)后,硬度开始明显变化,2Mev B+剂量为1.8×10(15)/cm(2)时,硬度可达未注入样品硬度的15倍,再增大剂量,薄膜表面变脆。XPS和RBS分析表明,离子注入后薄膜中碳的相对含量增加而氮和氧的相对含量减少,形成了以苯环结构为主的新的交联网状结构,宏观表现为表面硬度的增加。TRIM模拟计算结构得出,注入离子在样品中的电子能损失对聚合物材料改性起关键作用,而核碰撞能量损失过程造成原子移位,破坏了交联结构,限制了表面硬度的提高。
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数据更新时间:2023-05-31
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