分子组装薄膜及其对微机电系统的润滑研究

基本信息
批准号:50275142
项目类别:面上项目
资助金额:28.00
负责人:刘维民
学科分类:
依托单位:中国科学院兰州化学物理研究所
批准年份:2002
结题年份:2005
起止时间:2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:刘惠文,孙嘉奕,周金芳,牟宗刚,王廷梅,朱佳媚,王鹏,陈爽
关键词:
分子组装薄膜微机电系统润滑防护
结项摘要

研究分子组装有机润滑薄膜对微机电系统的粘着、磨损、运行寿命的影响,探讨微系统用材料的表面离子束和化学氧化处理及组装薄膜分子间的化学交联对提高微系统抗磨损性能和使用寿合的影响。揭示影响微系统润滑防护的多种因素,提出微机电系统在多种条件下的润滑失效机理。研究结果将为解决相关分子尺度的润滑防护问题提供理论依据和技术保障。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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