微机电系统带空泡液体润滑油膜稳定性研究

采用满足全流场质量守恒的广义雷诺方程研究微机电系统液体润滑油膜稳定性。同时考虑油膜空泡、温升、相关部件弹性变形对油膜稳定性的影响。润滑稳定性对微机电系统的工作可靠性极为重要。螺旋槽滑动轴承具有良好的稳定性。油膜空泡对润滑稳定性的影响极为复杂，至今尚未研究清楚。本研究对微机电系统的设计、制造有重要的实际意义。