Ni/Ni3Al微叠层复合材料离子束辅助EBPVD制备技术研究

采用离子束辅助电子束物理气相沉积技术制备大尺寸Ni/Ni3Al体系金属/金属间化合物微叠层复合材料。研究制备工艺参数包括预热时间、转速、基板预热温度、残余气体压强、蒸发参数和蒸发速率和蒸发材料的性质、电子束的特性等对材料组织结构及性能的影响规律，并对工艺参数进行优化。研究离子束对材料的组织结构、界面结合强度、表面粗糙度和结晶状态的影响。建立能精确控制微叠层复合材料组成成分、层间距、层厚比的离子束辅助EBPVD技术。对制备的微叠层复合材料的力学、热物理性能及断裂失效机制进行测试、评价与分析。建立离子束辅助EBPVD制备微叠层复合材料的形成过程机制。