极紫外区(50-500埃)薄膜光学常数的研究
基本信息
批准号：68978015
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：李懋廉
学科分类：
依托单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：缪同群,卢春光,李福田,钱利民,陈波
关键词：
极紫外薄膜光学常数
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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