极紫外区(50-500埃)薄膜光学常数的研究

基本信息
批准号:68978015
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:李懋廉
学科分类:
依托单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
批准年份:1989
结题年份:1992
起止时间:1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:缪同群,卢春光,李福田,钱利民,陈波
关键词:
极紫外薄膜光学常数
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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