高声速衬底压电薄膜淀积及新型GHz表面声波器件研制
基本信息
批准号：59982008
项目类别：专项基金项目
资助金额：14.00
负责人：王连卫
学科分类：
依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份：1999
结题年份：2002
起止时间：2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：黄继颇,刘彦松,刘尔凯,周兵
关键词：
压电薄膜金刚石GHz表面声波器件
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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