熔盐镀钨过程中镀层织构的形成与演化及其控制的研究

金属钨镀层在现代微电子技术、军工、能源等诸多领域具有非常重要的应用。前期研究表明，钨镀层随着电镀工艺条件的不同会产生非常明显的择优取向，即镀层的织构化。本项目针对熔盐钨镀层的织构形成与演变过程及其机理进行详细研究，采用EBSP技术对镀层初始形成阶段的晶粒取向随电镀工艺条件的变化进行定量化研究，然后采用ODF（取向分布函数）技术对不同电镀工艺条件、电镀阶段的镀层织构进行定量化表征，在此基础上得到钨镀层的织构形成与演化机理，得到镀层织构与电镀工艺条件之间的非线形关系。最终试图得到钨镀层的织构槽外控制理论方法。.本项目所得到的结论不仅适合于钨的熔盐电镀过程，而且，对其它水溶液电镀、熔盐电镀过程均具有重要的参考价值。