纳米三座标测量机关键技术的研究

本项目拟研究的非扫描表面探测技术及平台六自由度相关微调技术为纳米三座标测量研究中的关键技术。非扫描表面探测技术通过微光学技术与共焦显微原理的结合，实现非接触式二维瞄准；六自由度相关微调技术将微力学、拓扑学原理与微机械技术相结合，实现微动平台的快速调整及微型化结构。本项目的研究成果将促进我国纳米测量及纳米加工技术的发展。