纳米级激光偏振干涉方法测量误差的分析与补偿
基本信息
批准号：59305050
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：张孟斌
学科分类：
依托单位：北京信息科技大学
批准年份：1993
结题年份：1996
起止时间：1994-01-01 - 1996-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：柯子建,齐恕安,邓文怡,刘刚
关键词：
干涉仪偏振干涉误差分析
结项摘要
本课题研究的主要目标是消减相位细分式激光干涉仪由偏振分光镜漏光引起的误差，并提出误差补偿方法，以改进激光干涉设计从而提高其测量精度。研究的主要成果是如图中所示的在干涉仪中加入了双表决权反及两快轴正交λ/4波片，构成的误差补偿系统，利用双束输出误差信号的反相特性补偿该项周期性误差，详情请参阅1996年国际光学工程会议，（SPID）文集及1996年9月“工具技术”期刊。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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