异质多元ⅢⅤ族半导体光电化学刻蚀机理研究
基本信息
批准号：29180003
项目类别：专项基金项目
资助金额：3.00
负责人：陆寿蕴
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李诚芳,金承和,王卫江
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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