亚波长直径氧化硅线型光波导及其微光子学应用研究

项目的研究内容包括亚波长直径光波导的传输理论，高质量亚波长直径氧化硅线的制备，氧化硅线的微操纵和特性测试分析，以及将氧化硅线作为亚波长直径的光波导组装微光子学器件，并测试器件性能。本项目的研究意义在于，使用这种氧化硅线作为光波导，可实现低损耗光波导的直径或线宽从目前的波长量级到亚波长量级的突破。以这种氧化硅线组建微米和亚微米尺寸微光子学器件，可以大大缩小器件的整体尺寸，在高密度光集成、光通信和光传感等方面均有极大的应用前景。