超高分辨背散射分析研究

研制成功我国第一套具有实用价值的、大型、精密、复杂的超高分辨背散射分析系统。该系统主要包括：全新高分辨专用静电分析器一台，其电极主半径800mm，缝宽8mm，加工精度了μm，能量分辨小于±1.5×10(-4)；带状束成形及准直系统；背散射角θ在线微调及测量系统；多功能靶室极大扩展θ到145°-170°，缩小靶与分析器入口距离到2-25cm，可作掠角分析及不破坏真空换靶；微机在线控制及数据获取系统可同时进行普通RBS普及测定各界面精细结构谱，可根据普通RBS谱自动设定分析器电压始末点；整个系统总分辨达±1.5×10(-4)，故可将RBS沿深度的分辨从330A提高到10A（对Si）和5A（对Au）。除装置本身可和国外同类先进装置竞争外，还可开展高精细界面研究。