无氢类金刚石（DLC）薄膜近红外区光学损耗机理研究

类金刚石(diamond-like carbon，DLC)膜具有高硬度、低摩擦系数、化学性能稳定等优异的性能，已经作为3-5和8-12μm红外增透保护膜，使用在导弹、卫星等红外系统中。虽然DLC膜有很宽的透明区，但在近红外及可见区，却因制备技术及生长条件不同表现出较强的损耗特性，这一缺点严重制约着DLC薄膜在激光对抗系统中的应用。解决这一瓶颈问题的核心在于对薄膜损耗机理清楚的认识。.本课题拟研究无氢DLC光学薄膜在近红外区的散射特性和吸收特性，揭示薄膜形成条件与其损耗特性之间的相互关系；研究薄膜光学常数的变化规律和微观结构之间的关系，揭示微观结构与其损耗特性之间规律；建立工艺-结构-性能的相互依存链条，通过综合分析，建立适当的数学物理模型，揭示无氢DLC薄膜的光学损耗机理。为制备超低损耗无氢DLC光学薄膜，奠定坚实的理论基础。