金属硅化物结构和功能应用的基础研究

把金属硅化物耐高温结构材料和硅化物薄膜功能材料相结合，综合进行研究。金属硅化物在高温时氧化膜的形成规律及其高低温的形变特征是金属硅化物结构材料实用化中的关键基础问题。通过研究在低维尺度下金属硅化物相变和物理性能的特殊性，获得稳定性高和电阻率可控及具有高转化率的硅化物薄膜材料。探索金属硅化物多功能化的可能性。