微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究

以硅衬底上微光机电法布里——珀罗电光调制器为研究目标，开展相关微光机电技术基础研究，包括性能分析、结构优化、设计方法、平面微加工技术与封装技术等。该器件特点是体积小、重量轻、成本低，在未来无源光网络中极具应用前景。以此技术为基础，可进一步研发多种光通信器件，并开展国内微光机电技术在信息领域中的应用。