双法布里－珀罗纳米级动态测量干涉系统

该项目已完成用多学科前沿交叉理论（主要涉及非线性控制论）及有关数学、计算科学技术研究纳米测量用双法布里—珀罗对象的分析。提出通过建立典型图像库，由图形图像拟合简称图拟合（含数据谱图拟合）方法给出对象动态特性描述，从而解决由实验数据求一般情况下，对象作用的逆演算子问题，该思想已通过计算机仿真验证典型的被控对象。同时在柔性铰链结构的X-Y微动工作台有限元分析中提出了杨辉三角形排序的网格配置法，该方法适合于带孔板件的受力—应变—位移分析，通过对驱动探针运动的悬臂震动特性分析和典型非线性元件压电陶瓷和法布里—珀罗谐振腔的理论分析，理论上已详细完整地设计一整套基于双法布里—珀罗纲米测量用原子力显微镜。