GaAs/Si和Si/金属/Si等异质结构材料的智能剥离制备技术
基本信息
批准号：60106001
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：22.00
负责人：竺士炀
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李爱珍,包宗明,周嘉,黎坡,张庆全
关键词：
多层结构材料智能剥离低温键合
结项摘要
利用硅等半导体中注入一定剂量的氢等离子后在随后的热处理过程中将在半导体中形成埋层纳米孔层的原理，结合低温键合技术，可使一薄层的半导体膜转移到另一衬底上形成多层结构。本申请研究这种智能剥离技术，制备实用的GaAs/Si等异质结构材料和Si/CoSi2/Si等SOM材料，以及这些材料特殊的质量表征技术。这项研究开拓了一种新的异质结构材料制备方ā
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
DOI：10.15957/j.cnki.jjdl.2016.12.031
发表时间：2016
2
一种光、电驱动的生物炭/硬脂酸复合相变材料的制备及其性能
一种光、电驱动的生物炭/硬脂酸复合相变材料的制备及其性能
DOI：10.16085/j.issn.1000-6613.2022-0221
发表时间：2022
3
基于二维材料的自旋-轨道矩研究进展
基于二维材料的自旋-轨道矩研究进展
DOI：10.7498/aps.70.20210004
发表时间：2021
4
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
DOI：10.19596/j.cnki.1001-246x.8419
发表时间：2022
5
物联网中区块链技术的应用与挑战
物联网中区块链技术的应用与挑战
DOI：10.3969/j.issn.0255-8297.2020.01.002
发表时间：2020
竺士炀的其他基金
相似国自然基金
1
GaAs/Si异质结构相位调制器研究
批准号：69186004
批准年份：1991
负责人：龚连根
学科分类：F0403
资助金额：4.00
项目类别：专项基金项目
2
LiTaO3/Si结构的智能剥离(Smart-cut)研究
批准号：90101012
批准年份：2001
负责人：林成鲁
学科分类：F0401
资助金额：23.00
项目类别：重大研究计划
3
Si基GaAs材料制备技术及其在太阳电池中的应用
批准号：61076051
批准年份：2010
负责人：张秀兰
学科分类：F0403
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
4
Si-GaP异质结构的制备和界面特性研究
批准号：69006401
批准年份：1990
负责人：侯晓远
学科分类：F0401
资助金额：4.00
项目类别：青年科学基金项目