微机械加工方法制作热导式湿敏传感器及湿敏机理研究

热敏电阻的热耗功率与环境气体的热导率有关，而空气--水份二元混合物的热导率随水份浓度（即湿度）变化，因此用热敏电阻在干燥和潮湿空气中热耗率功率之差即可检测湿度。由放置于干燥潮湿空气中的薄膜铂电阻组成电桥，其输出Vout=E△R/2R与约对湿度呈线性关系，当电桥工作电压12伏时，灵敏度约0.3mv/g/m(3)，并且在15-45℃内与环境温度无关，在所测湿度范围内，迟滞误差小于2%RH，增湿和减湿的响应时间均小于40秒。初步测量结果表明热导式湿试传感器具有优良的特性。有硅微机械加工方法以及溅射和激光修调方法制成全桥式铂薄膜电阻温、湿集成传感器芯片和作为传感器盖帽用的硅杯，研究了芯片与盖帽之间的各种键合方法，由于芯片上的金属化层与硅的热膨胀系数之差过大，芯片和盖帽之间达不到气密封装。