具有高空间分辨力的整形环形光差动共焦测量方法与技术

提出一种新的基于二元光学原理整形的具有高空间分辨力的整形环形光差动共焦测量方法与技术，具体包括1）基于环形光瞳的共焦显微三维超分辨相干成像理论及环形光照射的三维超分辨理论方法研究；2）整形超分辨所需的特定环形光的二元光学器件设计、制作及效果分析;3）基于二元光学原理整形环形光照射的三维超分辨差动共焦光聚焦探测技术研究；4）基于微位移驱动及电感传感器测微的量程扩展测控系统研究；5）基于上述方法和各单元技术集成基础上的三维超分辨大量程差动共焦光聚焦传感器原理样机的研制等。技术指标为：纵向分辨力优于2纳米，横向分辨力优于0.1微米，Z向测量范围达350微米。项目完成后，可实现一种新原理的空间超分辨、大量程光探针扫描探测技术，在微细加工、半导体及微电子制造业等领域中将有广泛的应用前景，可解决三维微细结构器件的高分辨力测量及晶片形貌、微缺陷检测的理论、方法和关键技术问题。