原子力显微镜用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸的测量

本项目结合德国无偿援助项目“改善中国械工业的测量技术”，通过与德国物理技术研究院的合作，建立了一套计量型原子显微镜纳米测量系统，其主体是一台德国Carl Zeiss公司出品的扫描力显微镜VERITEKT 3，对其进行了技术改造，将x方向的分辨率提高到约为1.2nm，y和z方向的分辨率提高到约为0.25nm，同时改善了扫描器的机械结构。在此基础上，安装了三维微型激光干涉测量系统用于对原子力显微镜进行校准，并使其量值能直接溯源到光波波长。通过校准测量在整个测量空间内确定了测量偏差的数值，并据此建立回归方程，进而实现对原子力显微镜在整个测量空间的完全的误差修正和补偿。成功的使原子力显微镜用于具有计量意义的测量中。