对溅射机制认识的激烈争论中,用模拟计算方法,发表我们独特观点。(1)同位素溅射:用动量不对称性效应与表面浓度梯度效应相结合的观点,成功地预言了,在低剂量时既出现角有关又出现角无关的现象(这种现象在1993年还被称之为同位素迷惑)。对于碰撞机制的争论,我们工作表明,直接碰撞机制和碰撞级联机制都显示明显的动量不对称性。(2)合金溅射:建立了一个新的偏析原子在各层之间跳跃的模式,突出了偏析原子朝表面向的单向跳跃,从而深入解释了轰击诱发吉布斯偏析的两大特征。特别是指出,中间性特征比表面浓度梯度特征更重要。对溅射角分布和溅射产额的中间性特征作了预言。
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数据更新时间:2023-05-31
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