新型二氧化钛薄膜紫外光传感器的研究

本项目采用新型紫外光吸收半导体二氧化钛薄膜材料研制光电导型和p-n结光伏型紫外光传感器。该新型紫外光传感器具有结构简单、抗干扰性强、耐候性和化学稳定性好、成本低、与硅平面器件工艺兼容，适于批量生产等优点。可望在国防、航天、科技、工业控制、环保、防火灾等多方面具有广泛和重要的应用前景。同时，本项目研究对深入了解二氧化钛这一新型宽禁带氧化物半导体材料的光电性能方面具有很好的学术价值，对于提高二氧化钛晶体完整性和解决二氧化钛材料p-n结制作的技术难点方面也具有重要的技术参考价值。课题组对该项目的研究已具有良好的前期工作基础和理论上的准备，实现本项目的预期目标有可行性。有关半导体二氧化钛薄膜光电导型和p-n结光伏型紫外光传感器的研究在国内外文献上尚未见报导，该项工作具有明显的创新性及自主知识产权。