复合热释电膜红外探测器的研究
基本信息
批准号：69777018
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：任巍
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：1997
结题年份：2000
起止时间：1998-01-01 - 2000-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴小清,刘芸,宋志棠,毛引华,凌云,耿春琦
关键词：
红外探测器多孔绝热薄膜复合热释电薄膜
结项摘要
建立了复合热释电薄膜热传导模型，分析了各功能膜层对响应特性的影响。采用MOD法制备了性能优良、工艺再现性好的Pb基热释电薄膜。采用溶胶-凝胶法制备了满足使用要求的SiO2绝热膜。采用光刻-腐蚀工艺实现了热释电薄膜的图形制备，采用光刻-剥离工艺成功地解决了Pt、Au难于刻蚀的问题。通过“红外吸收层/上电极/热释电膜/下电极/过渡膜/多孔膜/硅基底”的集成，制备出不同单元面积的2×8、2×16、2×32和2×64元等一系列复合热释电薄膜红外探测器线阵。研究了SiO2绝热膜、图形化工艺以及极化条件对敏感元性能的影响。对探测器的阻抗变换以及前置放大电路进行了设计，利用外贴阻抗变换电路技术制备了单元探测器。探测器的星探测率达9.3×10（7）cmHz（1/2）/W，这一指标接近了1×10（8）cmHz（1/2）/W的实用水平，进入国际先进行列。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
DOI：10.11862/CJIC.2019.081
发表时间：2019
2
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
DOI：
发表时间：
3
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
DOI：10.3788/AOS202141.1831001
发表时间：2021
4
天问一号VLBI测定轨技术
天问一号VLBI测定轨技术
DOI：10.1360/sspma-2021-0204
发表时间：2022
5
LTNE条件下界面对流传热系数对部分填充多孔介质通道传热特性的影响
LTNE条件下界面对流传热系数对部分填充多孔介质通道传热特性的影响
DOI：10.11949/0438-1157.20201662
发表时间：2021
任巍的其他基金
批准号：59582011
批准年份：1995
资助金额：9.00
项目类别：专项基金项目
批准号：50572086
批准年份：2005
资助金额：26.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
宽温区高灵敏度复合热释电膜红外探测器阵列研究
批准号：60777043
批准年份：2007
负责人：姜胜林
学科分类：F0504
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
2
PVDF/TGS类复合热释电薄膜探测器研究
批准号：69277023
批准年份：1992
负责人：徐平茂
学科分类：F0504
资助金额：4.90
项目类别：面上项目
3
新型热释电探测器的研究
批准号：68677033
批准年份：1986
负责人：徐平茂
学科分类：F0501
资助金额：5.00
项目类别：面上项目
4
新型热释电探测器机理研究
批准号：68907002
批准年份：1989
负责人：王旭升
学科分类：F0504
资助金额：2.00
项目类别：青年科学基金项目