气相生长金刚石膜分子瞬变过程的激光光谱诊断

建成直流电弧喷射法制备出高质量金刚石膜高速CVD装置，利用SEM，X-衍射Raman光谱测量表明存在四方及六方结构单晶，线径＞1微米，生长速率-100μ/h，硬度达推广开发。利用OES探测了气相中存在多种自由基物种；如C，C（+），C2，H，H（+），CH，C2H，CH3及H2等分子态建立并利用CARS等激光光谱手段测量了H，H2的空间分布温度分布等随反应器内物化参数的变化，对气相动力学过程有重要意义。在含氮的碳膜研究中首次采用空险极直流辉光放电法获氮碳膜，对CNx膜进行了XPS，俄歇Raman红外可见及紫外谱研究表明氮碳比可达0.4-0.8，观察到热处理温度高于400℃时，膜结构有变化及解析的超热表明二种薄膜有不同的生长温度及最佳化条件，对CNx膜的硬度弹性模量Eg值等物性测量。