激光诱导热波红外检测对热扩散率的研究

热扩散率不仅是揭示物质本质的最基本的物理量之一，还是对热过程进行基础研究、分析、计算和工程设计的关键参数，因此热扩散率的研究兼有基础科学和工程应用的特点，特别是近年来，各种薄膜材料在航空航天、光学、光电子、半导体、微电子机械以及生物技术等领域中被广泛使用，薄膜材料热物性的研究和测量成为研究的热点，具有重要理论意义和实用价值。本项目使用一种激光诱导热波红外检测技术来研究材料特别是薄膜材料的热扩散率，其基本原理为：使用调制激光对样品的表面加热，从而激发出样品内的温度分布、产生热波，通过红外温度传感器对热波进行检测，再使用相关的理论进行拟合计算，就可获得材料的热物理参数。首先，建立实验系统；其次，完成定征体材料热扩散率的研究；然后，完成定征薄膜材料热扩散率的研究；最后，分析各种几何参数对薄膜材料热物性的影响。