聚焦离子束－离化聚团束联机研究光电子器件新工艺
基本信息
批准号：18880103
项目类别：专项基金项目
资助金额：8.00
负责人：王克礼
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1988
结题年份：1992
起止时间：1989-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
光电子器件离化聚团束聚焦离子束
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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