低温沉积金属薄膜的结构及摩擦学性能研究

开展在低温（77-200K）下沉积Au、Ag、Ni、Al、Cu的单质金属薄膜及其合金薄膜的研究，利用靶材粒子在低温基体表面的活动能力明显降低的基本原理，采用溅射和闪蒸技术，制备出在晶体结构、组织结构与常温和高温沉积有明显不同的（晶化程度、颗粒尺寸、晶界等）薄膜新材料，研究该类薄膜材料的生长过程、组织结构与工艺条件间的关系，进一步研究其力学性能与摩擦学性能，从中找到摩擦学性能优异的薄膜材料。. 研究结果将有助于对在超低温、电磁场、真空等特殊环境下工作的精密机械的摩擦学表面改性提供技术储备。