短波长软X 射线光学基础技术研究

本项目在以下四个方面取得了进展：短波长软X射线多层膜技术研究，设计制备了三种膜系，其计算正确，膜厚控制精度高，制备的膜层周期结构准确，衍射仪测量与设计值符合得很好。开展了光学超精密抛光研究，设计研制了超精密平面研抛机，进行了工件材料与抛光参数相互关系的理论分析，实验获得了表面粗糙度和面形精度均较好的平面。为获得较强的激光等离子体短波辐射，建立了一套光束质量较好和脉冲宽度适当的激光打靶装置；研究了气体冷冻靶和高压气体喷射靶低碎屑X射线源，与常规金属靶比较钵质上避免了有害碎屑的产生。设计研制了超环面镜、柱面镜组成前置光学系统的透射光栅谱仪，可用于激光等离子体软X射线光谱诊断及多层膜性能相对测量。