基于金属互补开口谐振环和MoS2薄膜的新型无源无线气敏传感器研究

It is a novel cross-link research area combined by materials and devices. In this project, the MoS2 flakes will be synthesized on SiO2/Si substrates using chemical vapor deposition method. The gas sensing characteristics of MoS2 flakes will be investigated systematically, which will reveal the exact sensing mechanism of MoS2 behavior. Meanwhile, the theory design of the metal complementary split-ring resonator （CSRR) for the application of gas sensor will also be carried out. Based on these experimental and theoretical results, a novel passive wireless gas sensor based on metal CSRR and MoS2 flakes will be designed and manufactured. This proposal can expand the application of left-handed materials and two-dimensional materials in modern gas detection technology, thus achieve the development of new gas sensitive material and novel gas sensor.

材料与器件进行综合性能的研究是材料科学的一个重要前沿方向。本项目拟利用化学气相沉积方法制备高质量的MoS2薄膜，对MoS2薄膜的气敏特性进行系统的实验研究，揭示MoS2薄膜气敏传感效应的本质，开展金属互补开口谐振环（CSRR）左手材料结构用于气敏传感器的理论设计，将金属互补开口谐振环CSRR微带线左手材料结构与MoS2薄膜相结合制备新型无源无线气敏传感器。本项目的研究工作将极大的拓展左手材料及二维材料在现代气敏检测技术中的应用，实现新型气敏材料和新型气敏传感器的综合研发。

材料与器件进行综合性能的研究是材料科学的一个重要前沿方向。在本项目中，我们制备了高质量、均匀分布的超薄二硫化钼薄膜，实现超薄二硫化钼薄膜的导向性设计。通过对超薄二硫化钼薄膜进行修饰和改性，实现对超薄二硫化钼薄膜本征电子结构的调控，获得丰富的物理和化学性能。综合开展了超薄二维纳米材料体系气敏特性的研究以及气敏传感器件的设计与制备，将左手材料结构和超薄二维纳米材料相结合，开发了新型传感器件，研究工作可以极大拓展超薄二维纳米材料在现代气敏检测技术中的应用。项目实现了预定研究目标，完成了计划书中的全部研究内容。在Nanoscale等SCI期刊发表论文24篇，授权国家发明专利10项，毕业硕士研究生6名。