纳米尺度的超晶格半导体薄膜中力电耦合效应的试验研究

纳机电系统（NEMS）是微机电系统（MEMS）的延伸和必然发展趋势。外延生长方法是目前最为成熟的一种从小到大（bottom-up）的纳米（原子）级薄膜（超晶格），量子线，量子点加工技术。理论研究发现超晶格薄膜在应力场作用下也可以产生或影响共振隧穿，其原理可用于力电转换。本课题的实验研究就是针对由半导体超晶格薄膜材料构成的典型微纳米结构，通过观测和研究力学信号影响或引起超晶格材料的量子隧穿电流信号变化，并对由超晶格薄膜加工成的微腔，桥，梁结构进行力电耦合测试，验证基于超晶格材料的微纳机电系统可行性，为超晶格材料在微纳机电系统的广泛应用提供基本实验数据和原型样机。