软Ｘ射线非周期宽带多层膜设计、制备与检测方法研究

软X射线非周期多层膜是在周期多层膜的基础上发展起来的，是多层膜的延伸和发展。本课题研究了以随机数为基础的普适多层膜设计方法，除可设计周期多层膜，还可通过选定评价因子，设计不同性能的非周期多层膜。同时对多层膜性能进行了模拟计算。采用磁控溅射方法完成了非周期多层膜的制备及膜厚定标，制务了18-20nm波段积分反射率最大的宽带多层膜样片。用X射线衍射仪对非周期多层膜小角和广角衍射测量，并用俄歇电子能谱和卢瑟福背散射的方法对多层膜内的微观特征进行研究结果表明现有的多层膜制备工艺需要进一步提高。发展了一套多层膜反射率相对测试的实验装置。测试结果表明我们研制的非周期多层膜的带宽确实增加了，这与设计非常符合。