离子束表面处理提高陶瓷力学性能的研究

用金属离子注入和离子束辅助沉积对氧化铝、氮化硅进行了表面改性研究。研究了注入离子与基体材料相互作用机理，不同的注入参数对试样微观结构和性能变化的影响。结果表明，大剂量、高束流密度的金属离子注入，可以使陶瓷材料的表层微观结构发生很大的变化，并引起陶瓷力学性能的相应变化。对氮化硅陶瓷样品。用80KeV的Ti离子，束流密度为125μA/cm（2），注入3×10（17）/cm（2）后，其抗弯强度可以增加14%。其它的性能如显微硬度、断裂韧性等也与注入参数密切相关。本课题研究完成论文7篇，发表于国内外学术会议及学术刊物上（含接收的）。已按计划完成课题研究，并达到预定的研究目标。