基于电光效应的可调谐法-珀腔阵列式微型光谱仪及集成化技术的研究

本项目提出基于电光效应和法-珀腔干涉滤光原理，利用微电子技术、微光学技术和MEMS技术，研究电光材料制成的微法-珀腔阵列、光电探测器、控制与处理电路等一体化三维集成的相关基础理论和关键技术，以构成一种新型的集成化微型光谱仪。该集成可调谐法-珀腔阵列式微型光谱仪的基本工作原理是由一系列不同厚度的、上下有反射膜的电光材料组成法-珀腔阵列，通过控制电光材料两端的电压以改变电光材料的折射率，使透过法-珀腔的波长随折射率而改变。具有可多通道并行检测光谱信号，分析速度快，加工难度低，可靠性高，各通道参数可独立设计，灵活性强，检测灵敏度高,动态范围大等特点，可满足生物化学、医疗诊断、工农业检测、环境监测以及航空航天等领域对光谱探测的需求。具有重大的科学意义和广泛的应用前景。