三维微细零件掺粉电解抛光机理与工艺研究

微机械由于具有体积小、重量轻、功耗低的特点，将对人类未来的生产和生活带来革命性的影响，因此受到了各国政府的高度重视。微加工工艺是得到高性能微器件的头等关键技术，而其中微零件抛光对微器件性能影响巨大，有必要对其进行深入研究。本课题提出了一种基于超高速主轴、超短脉冲电源的三维微细零件掺粉电解抛光新工艺，并针对新工艺中的关键技术问题展开研究，包括1.微电解机械抛光超高频率、极窄脉冲电流源研制；2.微粉磨料对零件的抛磨机理研究；3.影响加工的最佳工艺条件；4.加工过程中短路电信号分析、状况监测和控制；5.工艺过程的数学、物理模型建立，相关仿真和控制软件的编制，预选并监控过程参数,通过对上述内容的研究，最终掌握新工艺。本课题的研究成功，将促进我国微制造技术的发展，有重要的理论和实际应用价值。