内置微型电液动力泵微通道冷却系统的实验研究

随着电子元器件微型化和高性能比的进一步发展，下一代电子元器件的散热将超过100W/cm2，现有的气体冷却技术已无法满足如此之高的热流密度的散热需求。因此迫切需要发展液冷技术。微型电液动力泵将被直接置入流体微通道内，当电极通入直流电时，静电场作用在电介质中的偶极子上，造成液体的流动，实现了泵的功能。这种微型泵没有运动部件，且与流动通道整体集成，还可根据系统的要求实现泵的串/并联组合。本研究将通过数值模拟对微型电液动力泵的结构进行优化，确定最佳结构，然后利用MEMS技术和电子溅射镀膜技术实现微型电液动力泵和微通道换热器的制作，并实验测试系统的性能，为今后超高功率之器件的冷却提供可靠的技术保证。