以铜激光和YAG激光扫描作硅的掺硼

基本信息
批准号:19074048
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:钱育军
学科分类:
依托单位:浙江大学
批准年份:1990
结题年份:1994
起止时间:1991-01-01 - 1994-06-01
项目状态: 已结题
项目参与者:陈立登,赵炳辉,潘伯良
关键词:
PN结激光辐照原子扩散
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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