利用电子散射动力学效应观测厚膜表面结构

采用实验观察，理论分析和模拟计算相结合的方法，研究了高分辨电子显微正面成像法中试样制备，表面波与体波的相互作用及其随试样厚度变化而产生的此长波消，表面波与体波振幅的可比性成像中的作用，表面像的厚度周期性，在厚膜上进行表面结构观测的可性能、试样厚度对顶底效应的影响等内容，从理论揭示并通过实验证实了表面像的厚度周期性，突破了只有超薄膜才适合于表面结构观测的认识，显示了在几十纳米厚的试样上进行厚度水平表面结构观测的可性能。为解决正面成像法中超薄膜试样制备及消除顶底效应等难题开辟了新思路。对推动广泛利用通常的高分辨电子显微镜进行原子不平的表面结构研究有重要的启发和示范作用。