新型水溶性负性胶印用光刻蚀材料

制备了四种感光速度快、热稳定好的取代二苯胺重氮盐及相应的重氮树脂，并与线型成膜树脂组合得到贮存性能好的负性胶印用光刻蚀材料。比罗系统地研究了二苯胺重氮盐与多聚甲醛在酸性介质的缩合反应，表明在通常采用的缩合条件，多聚甲醛的摩尔配比应比重氮盐大，才能获得所需粘度（分子量）的重氮树脂。制备了多种负离子的重氮树脂，研究了负离子对重氮树脂的影响，结果是不同负离子对感光剂的感光性影响不大而对热稳定性有明显影响。合成了三种不同类型的成膜树脂，研究了成膜树脂与感光剂重氮树脂间的光交联反应，结果是只有侧链带羟基的线型高分子才与重氮树脂发生光交联反应，并从模型化合物的研究，证明主要是通过形成醚键实现光交联。