电子束无损显微分层内窥半导体和集成电路透视仪
基本信息
批准号：60227102
项目类别：专项基金项目
资助金额：80.00
负责人：胡问国
学科分类：
依托单位：云南大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：木崇俊,胡宗高,李萍,朱世秋,李亚文,肖玲,周开邻,梁竹关,王建
关键词：
透视仪电子束无损显微分层内窥
结项摘要
按电磁学、电子光学、电镜学、电子电路、计算机软件硬件和半导体原理研制成专用扫描电镜，加装频闪器、Lockin、数字扫描、图像采集与处理。研制成了分层仪和透表仪安装到这专用扫描电镜中，研制成一台突破扫描电镜功能，能分层和透过表面绝缘层检测半导体和多层集成电路的电子束无损显微分层内窥半导体和集成电路透视仪。社会、经济和科学价值高
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
青藏高原狮泉河-拉果错-永珠-嘉黎蛇绿混杂岩带时空结构与构造演化
青藏高原狮泉河-拉果错-永珠-嘉黎蛇绿混杂岩带时空结构与构造演化
DOI：10.3799/dqkx.2020.083
发表时间：2020
2
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
惯性约束聚变内爆中基于多块结构网格的高效辐射扩散并行算法
DOI：10.19596/j.cnki.1001-246x.8419
发表时间：2022
3
2A66铝锂合金板材各向异性研究
2A66铝锂合金板材各向异性研究
DOI：
发表时间：2017
4
粘土矿物参与微生物利用木质素形成矿物-菌体残留物的结构特征研究
粘土矿物参与微生物利用木质素形成矿物-菌体残留物的结构特征研究
DOI：
发表时间：
5
创新地理学的批判性思考--基于中国情境的理论创新
创新地理学的批判性思考--基于中国情境的理论创新
DOI：10.11821/dlyj020191115
发表时间：2020
胡问国的其他基金
批准号：69976024
批准年份：1999
资助金额：12.80
项目类别：面上项目
批准号：69581002
批准年份：1995
资助金额：9.80
项目类别：专项基金项目
相似国自然基金
1
非接触无损电子束显微内窥半导体材料和器件的新检测法
批准号：69976024
批准年份：1999
负责人：胡问国
学科分类：F0406
资助金额：12.80
项目类别：面上项目
2
半导体材料微电子器件分层体视及内窥的研究
批准号：69581002
批准年份：1995
负责人：胡问国
学科分类：F0122
资助金额：9.80
项目类别：专项基金项目
3
基于柔性机构的光学扫描系统与非线性光学内窥显微镜的研究
批准号：51375415
批准年份：2013
负责人：陈世祈
学科分类：E0512
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
4
微型光纤全光学内窥系统的研究
批准号：60178035
批准年份：2001
负责人：林美荣
学科分类：F0511
资助金额：21.00
项目类别：联合基金项目