先进飞秒激光近场光学亚微米三维制造技术

基本信息
批准号:50375068
项目类别:面上项目
资助金额:30.00
负责人:蔡兰
学科分类:
依托单位:江苏大学
批准年份:2003
结题年份:2006
起止时间:2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:任乃飞,许晓静,曾丹勇,杨润党,陈骏,马涛,李刚
关键词:
超快激光光聚化三维制造微细
结项摘要

结合近场显微技术,研究飞秒激光双光子聚合法在新型微纳器件光制造中,突破光学衍射极限,减小光制造特征尺寸,实现亚波长纳尺度超精密飞秒三维光制造技术。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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