结合近场显微技术,研究飞秒激光双光子聚合法在新型微纳器件光制造中,突破光学衍射极限,减小光制造特征尺寸,实现亚波长纳尺度超精密飞秒三维光制造技术。
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数据更新时间:2023-05-31
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