随着器件尺寸进入到纳米尺度,其物理特性与体材料有很大差异。微电路的热设计是当代微电子器件设计的一个重要基础。器件的高度集成化导致了高密度的热量输运,此时材料的热学性质就会对器件特性产生显著影响。本课题采用Boltzmann输运方程和声子辐射输运方程方法,并结合蒙特卡罗数值模拟,对器件中的薄膜、纳米线、量子阱和超晶格等低维结构的热学性质进行系统的理论研究,由此获得纳米器件中芯片-互连接体系的温度分布、高温区域(hot spot)位置、中值失效时间(MTF)和热学参数的定量关系,拓展人们对于纳米器件中传热机制的认识,为器件性能的优化设计提供参考。
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数据更新时间:2023-05-31
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