基于多域耦合分析的MEMS动态宏建模方法研究

本项目研究从器件级向系统级过渡的行为级的宏建模方法。在研究微机电系统中多能量域耦合问题的基础上，提出参数化、柔性的动态宏建模方法，建立复杂子系统的动态宏模型，并嵌入到系统的建模与仿真之中，以期快速实现MEMS器件的动态行为分析与仿真。.本项目的研究对于促进MEMS设计向科学性和规范性发展，提高我国MEMS的自主设计和新型产品的开发能力具有重要的理论意义和应用前景。