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数据更新时间:2023-05-31
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埃级超光滑表面无磨料低温抛光的理论与实验研究
大范围粗糙度的随机表面散射模型
SiC晶片原子级超光滑表面磁流变化学复合抛光加工研究
纳米MOS器件中的表面粗糙度散射机理研究